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半導体製造装置 実績3

MDテクスチャ加工用

純粋洗浄&リンス装置
純粋洗浄&リンス装置
MD(ミニディスク)製造工程におけるディスクの洗浄と乾燥を行うシステム。
目に見えない、ミクロのホコリも許されないクリーンルーム内でも円滑で正確な省力化が実現します。
オートローダ&アンローダ付。

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